窒素発生装置の酸素濃度監視システム導入｜純度・切替・記録

窒素発生装置の酸素濃度監視システムを導入するとき、「純度計を付ければ終わり」と考えると肝心な判断が残ります。どの配管点で測るのか、起動直後の規格外ガスをどこへ逃がすのか、分析計が故障したとき工程に何を供給するのか、そして記録を誰がどう使うのか。本稿はタイの製造拠点で設備、品質、保全の担当者が同じ仕様書を読めるよう、残留酸素の測定からPLCの切替、受入試験、保守までを順に整理します。窒素ガス自体は無色・無臭です。測定値を製品品質に使う設計と、窒素漏えいによる作業場の酸欠を防ぐ設計は、同じ「酸素」という語を使っても測定対象が別です。

最初に分ける二つの酸素濃度

製品側の酸素濃度とは、発生装置の出口、レシーバー、使用点などの窒素流路に残った酸素の割合です。ここでの目的は、包装、酸化防止、パージ、炉雰囲気など各工程が求めるガス品質を確かめ、規格から外れたガスを工程に送らないことです。通常の空気を前提に「窒素純度＝100%−酸素濃度」と単純化したくなりますが、実際にはアルゴン、水分、二酸化炭素、炭化水素などほかの成分があり、測定器が検出しているのは酸素だけです。酸素計の読みを「窒素純度」と表示するなら、何を含めて何を除外した換算なのかを明記しなければなりません。

作業場側の酸素濃度は、人が呼吸する周囲空気の酸素割合です。窒素の漏えい、排気、パージで空気が置換される危険を管理するため、室内やピットなどの位置で別の検知器を使います。米国OSHAの解釈書は窒素を単純窒息性ガスとし、酸素19.5%未満になり得る雰囲気を危険として扱います。ただしこれは米国の文脈で示された危険性の説明であり、タイの施設にそのまま適用する法的設定値を示すものではありません。現場の警報値、換気、避難、立入管理は現地の法令・リスクアセスメント・検知器仕様に基づいて決めます。製品ガスの酸素計を設置しても、作業場の酸欠監視の代わりにはなりません。

なぜ出口の一回測定では足りないのか

現場で起こる問題は「発生装置の公称純度」と「工程に実際に届いたガス」の間にあります。起動時には吸着材や膜分離系が安定するまで時間を要する場合があります。原料空気の温度、圧力、流量、露点、汚染物が変われば分離性能も変化し得ます。Parkerの膜式装置の取扱資料は、提示した純度・流量データが吸気20°C条件に基づくこと、温度が大きく異なる場合はメーカーに確認すること、圧力や流量の乱れが出口純度を変えることを説明しています。これは特定機種の条件であり、別機種の保証値ではありません。

レシーバーや配管がある場合、発生装置出口の品質と使用点の品質にも時差があります。起動前に配管に残った空気、保守後の接続部、逆流、漏れ、複数ラインの切替によって、使用点の値だけが変わることもあります。一方、使用点にだけ分析計を置くと、異常が工程に届くまで検出が遅れます。どの故障をどの時間で見つけたいかを先に書き、測定点を決める必要があります。

オンライン測定は「測っているから安心」ではなく、「規格外を検知してから、影響が広がる前に動かす」ための手段です。分析計の応答時間だけでなく、サンプル配管の容積、流量、フィルタ、PLCの更新周期、弁の動作時間、工程までのガス滞留時間を合わせて評価します。設備仕様に書かれたセンサー単体の応答時間だけを採用すると、実システムが必要な時間内に切り替わらない可能性があります。

監視システムの基本構成

代表的な構成は、圧縮空気の前処理、窒素発生装置、製品側酸素分析計、切替弁、レシーバー、使用点、PLC・記録系です。供給空気の圧力・温度・露点も品質の説明変数として記録すると、酸素値の変動が発生器かユーティリティかを調べやすくなります。Parkerの食品向け資料は空気前処理、食品安全リスク評価、ガス品質を一体として論じています。酸素計だけ後付けしても、フィルタ詰まりや凝縮水など原因側の情報が無ければ、異常の切り分けが難しくなります。

配管図を作るときは、分析計の採取点、サンプル排気先、校正ガス接続、遮断・バイパス弁、ドレン、非適合ガスの排気先を線で示します。発生器出口の分析計は装置性能の監視に向き、レシーバー後または使用点の分析計は工程へ届くガスを見ます。両方が必要かは、製品リスク、配管容量、ライン数、応答時間で決めます。採取点が本流の代表値にならないデッドレグ、長すぎるサンプル管、液滴の滞留は避けます。

分析計には測定原理、測定範囲、精度、応答時間、流量・圧力条件、温度補償、ゼロ・スパン確認、消耗品交換周期、出力信号、故障診断を確認します。ParkerのHFX系資料では、酸素分析計内蔵モデルと非内蔵モデルが区別され、前処理・分離・流量制御・最終ろ過・純度監視が機能群として示されています。したがって「Parker製なら全機種に酸素計が内蔵」という解釈は誤りです。既設装置の型番と配管を実物で確認し、必要な外付け計装を選びます。

必要純度を工程の言葉で定義する

目標値はメーカーのカタログ値から先に決めません。包装なら対象食品と包装方式、パージなら対象容積と許容酸化、炉なら製品・雰囲気・温度、電子部品なら工程管理規格という順で、使用点の要求から逆算します。たとえば「窒素99.9%」という言葉だけでは、残留酸素の上限、水分・油分・粒子の管理、サンプル条件、許容時間が不明です。何を分析して合格とするか、規格外が何秒続けば遮断するか、品質部門と製造部門で先に合意します。

食品用途は特に「食品用窒素」という一語で一律に処理しないことが重要です。EIGA Doc 194/24はオンサイト発生器の食品用途を扱い、加工助剤と食品添加物の用途、PSA・膜式の潜在危険、HACCP、構成材料などを整理しています。EIGA Doc 125/20も、オンサイト発生器は意図した用途に適合するガスを作るよう設計し、品質の管理・追跡が必要なら現場分析装置を要し得る、と記しています。これらは欧州の文書なので、タイの食品法令や顧客規格への適合を自動的に証明するものではありません。監査向けには、適用規格の版、要求成分、監視頻度、校正記録、逸脱時のロット処理を並べて判断します。

数値の例を仕様値に転記するときは条件を付けます。Parkerの特定HFX膜式装置の説明には製品純度99〜99.5%という範囲がありますが、これは当該装置と運転条件の説明であって、全ての窒素発生装置や食品工程に十分な純度を保証する数字ではありません。プロセス側の上限を超えたときに何を止めるかという制御仕様を、装置の能力確認と分けて書きます。

「酸素濃度」と「窒素純度」の表示を統一する

運転画面に酸素濃度、窒素純度、酸素残量を混在させると、警報方向を取り違えます。酸素濃度は上がるほど悪化する設計が多く、窒素純度は下がるほど悪化します。両方を示す場合は、単位をvol%、ppmなどで明記し、換算式と適用条件を画面仕様書に残します。ppm表示の値と百分率の値を機械的に比べないよう、PLCのデータ型、上下限、丸め、欠測時の表示を検証します。

「純度」と呼ぶ値が酸素からの推算であれば、画面には「酸素換算の推定N2濃度」など正体がわかる表記が望まれます。食品、電子、化学などで水分や不純物が別途重要なら、酸素だけを見て適合と判定しない設計が必要です。水分計や露点計、油分・粒子の検査を、工程の品質計画に沿って組み合わせます。分析計の測定下限に近い値を管理上限と同一視することも避け、校正範囲と不確かさを含めて許容差を決めます。

酸素分析計の設置位置とサンプリング

装置出口に採取点を置けば、発生器の変動を早く見つけられます。ただし下流のレシーバーが平均化した後のガスや使用点の混合・漏れは見えません。使用点で採るなら製品に近い値が得られますが、採取ラインの流量不足や距離による遅れが加わります。両方を設ける場合も、各値の意味を「発生器管理」「工程供給判定」と分け、誤って同一の閾値で操作しないようにします。

サンプルガスの放出先は安全設計に直結します。窒素サンプルを分析計盤の中や換気の弱い室内に放出しないよう、排気経路を設計します。分析計の近くにある酸素値はガスの値であり、その盤の周囲の空気を測っているわけではありません。点検者が計器盤を開けたときの曝露や、校正中の排気もリスク評価に含めます。配管・継手の材質はガス品質要求と使用条件に合わせ、結露・油・粒子がセンサーに入らない前処理をメーカー仕様で確認します。

サンプル配管が長いと応答遅れが増えます。設計時には採取点から分析セルまでの容積、実流量、分析計内部容積を見積もり、現場でステップ変化を与えて実測します。概算の置換時間だけでは拡散、滞留、フィルタの影響を捉えきれません。受入試験では「規格外ガスを採取点に入れてから弁が安全側へ切り替わるまで」を時刻付きで記録すると、後の変更管理でも使えます。

どの異常で弁を切り替えるか

基本ロジックは「有効な測定値が規格内で、必要な安定時間を満たすときだけ工程側を開く」です。起動直後、停電復帰後、分析計ウォームアップ中、校正中、通信断、センサー故障、サンプル流量不足のときは、値が一瞬だけ正常に見えても品質保証の根拠にできません。非適合ガスを排気・回収へ導く弁と、工程に送る弁の関係を、P&ID、制御説明、PLCコード、現場試験で一致させます。

閾値を超えたら即遮断するか、短い遅延で誤警報を抑えるかは工程リスクで決めます。遅延を入れれば偽警報は減りますが、その間に規格外ガスがラインへ流れます。ヒステリシスは弁のチャタリング防止に有効ですが、復帰側の条件を緩めすぎると品質が不安定になります。数値・秒数はこの記事から一律に指定できません。許容されるガス量、下流配管容量、装置応答、分析計の精度から、対象工程に対して設定します。

故障時の弁位置も決めます。電源喪失やPLC出力断で工程側が閉じ、排気側へ移る構成が適する例は多いものの、停電時の配管圧力や逆流、回収設備の受容量など現場条件を検討します。切替弁に位置フィードバックがあると、PLCの指令と実際の弁位置を照合できます。指令だけを記録すると、弁固着があっても「切替済」と誤認する恐れがあります。

PLCと上位システムへ残すデータ

最小構成でも、残留酸素の実測値、単位、測定点、分析計の状態、サンプル流量、装置運転状態、切替弁の指令・実位置、警報発生・解除時刻は別々のタグにします。圧縮空気の圧力・温度・露点、窒素の流量・圧力を並べると変動要因を追えます。タイムスタンプの時刻帯と時計同期方法を固定し、PLC、SCADA、MES、品質記録で時刻がずれないようにします。

品質判定に使う場合は、平均値だけでは不足することがあります。ピーク、規格外継続時間、切替が遅れた時間、該当ロット、製造設備、作業指図を関連付けます。MESに送る値は「いつの、どの採取点の、どの状態の測定か」が判別できるようにし、分析計校正中や故障中の値を通常データとして集計しないよう品質フラグを付けます。CSVに数字だけ残しても、後でロット判定を再現できません。

記録保持期間は顧客契約、製品規格、食品安全・社内品質規則を確認して決めます。トレンド表示の保存期間と監査証跡の保存期間は異なる場合があります。警報設定変更、校正係数変更、手動バイパス、弁の強制操作は、操作者と理由をログに残す設計が望まれます。監視システムをOT・IoT化する価値はグラフを増やすことではなく、どのガスがどの工程へ供給されたかを後から説明できることです。

現場導入の進め方：仕様から受入試験まで

第一段階は現状調査です。窒素発生器の型式、分離方式、定格流量、供給空気の品質、配管・レシーバー容積、使用点、既設弁、電源、通信を確認します。稼働中の酸素値、圧力、流量、起動・停止の履歴を採り、現状の揺れを知ります。既設に分析計があっても、その測定範囲、校正状態、外部出力、センサー寿命を確認します。装置資料と現物が違うことがあるため、図面だけで採取点を決めないことが大切です。

第二段階は要求定義です。用途ごとの残留酸素上限、対象流量、異常許容時間、切替先、許容停止時間、必要な監査記録を一枚にまとめます。設備部門は計装と保守を、品質部門は合否とロット処理を、生産部門は停止・復帰手順を、安全衛生部門は窒素排気と室内酸欠を確認します。誰が警報を受け、誰が復帰を承認するかまで決めれば、後段のPLCロジックがあいまいになりません。

第三段階は設計・設置です。P&IDに採取点、分析計盤、サンプル処理、切替弁、排気経路、空気監視器を記載します。ケーブルやネットワークだけでなく、校正作業の足場、センサー交換の余地、ドレン排出、メンテナンス時の隔離を確保します。EIGA Doc 125/20はオンサイト発生器の設置環境と保守アクセス、吸気の汚染源からの離隔などに注意を促しています。食品用途では、測定系を追加したことで清掃や異物管理が悪化しないことも確認します。

第四段階がFATとSATです。分析計へ規格内・規格外相当の試験ガスを与え、表示・警報・切替・ログ・上位通知を一連で検証します。通信断、センサー断線、サンプル流量ゼロ、停電、復電、校正モード、手動バイパスも試します。FATで確認できない現場配管の遅れや排気先はSATで実測します。試験後は設定値の控えと、弁の実位置の証跡を残します。

第五段階は運用移管です。日常点検、分析計校正、校正ガスの管理、消耗品交換、ドレン点検、警報時の隔離、品質判定、再起動条件を手順書にします。ParkerのHFX系資料は、特定機種について週次の系統確認や酸素分析計の校正を説明しています。頻度はその機種の推奨と現場の品質要求に依存するので、他機種に機械的に適用しません。変更時はPLC設定と品質規格、教育資料を同時に更新します。

費用を比較するときに見る項目

装置価格だけの比較では、運用費と品質リスクが抜けます。酸素分析計本体、サンプル前処理、採取配管、切替弁、PLC入出力、表示・記録、盤、工事、校正ガス、年次保守、分析計消耗品、試運転、教育を同じ範囲で見積もります。既設PLCに余裕があっても、通信改造・プログラム検証・停止工事は別費用です。食品・医薬・電子などで監査証跡が必要なら、データ保存とユーザー権限も範囲に入れます。

費用対効果は「発生器の純度を高く設定できる」というだけでは証明できません。規格外の早期発見で減らせる廃棄、製品停止の抑制、手分析の工数、品質苦情の調査時間を、現場の実績データで試算します。逆に、過敏な警報が頻繁に生産を止めれば損失が増えます。受入試験後の数週間は警報の実績を見て、許容リスクを変えずにサンプリングやヒステリシスを調整します。

タイ工場での導入時に確認したいこと

高温多湿の工場では、吸気条件と圧縮空気の露点・ドレン管理を現地実測で確認します。ただし「タイだから純度が必ず低下する」という一般化はできません。設備の設置場所、季節、空調、圧縮機の運転で条件は変わります。計装盤の設置環境、電源変動、停電復帰の手順、校正ガスの調達、現地保守の到着時間も仕様に含めます。

運転画面は現場の言語に合わせ、警報文を短く明確にします。たとえば「酸素高」「分析計故障」「サンプル流量低」「切替弁不一致」を別警報にすれば、作業者が毎回同じ操作をする誤りを避けられます。操作手順では、規格外ガスがどこに流れているか、手動バイパスを誰が許可するか、復帰後に最初の製品をどう判定するかを図と一緒に示します。日本語の仕様書だけで導入し、タイ語の現場手順が欠ける状態は避けたいところです。

食品用途ではHACCPとトレーサビリティにつなぐ

包装ガスとして使うなら、発生器の出口純度だけでなく、包装機までの配管、包装工程のタイミング、食品と接触するガスの品質を一連の危害分析に載せます。EIGA Doc 194/24はオンサイト発生器の食品用途を扱い、EIGA Doc 125/20は食品ガスの供給、保管、トレーサビリティ、現場発生を対象にしています。これらを参照しても、自社の食品と工程に対するHACCP検討を省くことはできません。

残留酸素の連続記録をロット番号に関連付ける際、ガスが配管を流れる時間と包装機のロット切替時刻を合わせます。酸素警報の時刻だけで影響ロットを機械的に区切ると、配管内の滞留で前後のロットが混ざる可能性があります。弁が切り替わった時刻、レシーバーの容量、包装機の使用量をもとに、品質部門が保留範囲を決められる設計にします。トレーサビリティは大量のデータを蓄積することではなく、逸脱時に影響範囲を説明できることです。

保守で測定の信頼性を維持する

センサーは時間とともに変化します。校正が期限内か、ゼロ・スパンの確認ができたか、サンプル流量・圧力が仕様内かを、測定値と同じ画面または記録で追えるようにします。ParkerのHFX系資料には、特定モデルのガルバニ電池センサーの交換を年次とする記載がありますが、寿命は製品型式と使用条件によって異なります。採用する分析計のメーカー手順を正本にして交換計画を作ります。

校正中の値を品質判定に使わないよう、校正モードをPLCと上位システムに伝えます。校正ガスの証明書、使用期限、濃度、接続手順も管理します。センサーが異常値を示したときは、まず本当にガスが悪いのか、採取ラインが詰まったのか、校正がずれたのかを切り分けます。ただし原因確認のために工程側を無条件に開けたままにせず、事前に定めた安全側の状態を維持します。

よくある失敗と対処

一つ目は、分析計の表示だけをSCADAへ送り、切替弁や品質処置を決めていないことです。数値は見えていても、規格外ガスは工程へ流れます。改善策は、異常ごとの行先、弁動作、復帰条件を制御表にすることです。二つ目は発生器出口の値を「製品に届いた値」と扱うことです。使用点との間にレシーバーや複数配管があるなら、品質保証の対象点を別途確認します。

三つ目はセンサー故障を「最後の正常値」で隠してしまうことです。欠測・通信断・校正中は測定値と別の品質フラグで示し、合格判定に使わない設計が必要です。四つ目は、製品側の酸素計だけで作業場の酸欠対策が済んだと考えることです。OSHAの説明が示すように、窒素は周囲空気を置換して危険な雰囲気を作り得ます。排気口、ピット、密閉空間、保守作業を別のリスク評価で扱います。

五つ目は、工場のユーティリティ条件を記録せず分析計だけ交換することです。圧縮空気の流量・圧力・温度・露点が変われば、分離性能の原因調査ができません。既設の圧縮空気の露点監視や流量計の選定も一緒に見直すと、窒素品質の変動を上流から追いやすくなります。

FAQ：窒素発生装置の酸素濃度監視システム導入

窒素発生装置の純度監視は出口一か所だけでよいですか？

発生器の性能監視だけが目的なら出口一か所で足りる場合があります。ただしレシーバー、長い配管、複数使用点があり、製品に供給したガスを判定するなら、使用点側の確認や追加採取点を検討します。判断基準は設備構成と不良が許容できる時間です。

酸素濃度が何%なら切替弁を作動させますか？

一律の数値はありません。製品・工程の要求、分析計の測定不確かさ、応答遅れ、下流の滞留量から上限と遅延を決めます。カタログ純度や別業界の慣行値をそのまま設定しないでください。値は品質部門と生産部門が承認し、FAT・SATで動作を確認します。

酸素計の値から窒素純度を計算できますか？

酸素以外の成分を無視する条件では簡易的な推定に使えますが、酸素計は窒素濃度を直接測っていません。水分など別の不純物が品質に効く用途では、酸素値だけで適合を証明できません。画面・帳票では「酸素からの換算値」と明示します。

食品用窒素の監視はオンライン酸素計だけで十分ですか？

十分とは限りません。用途に応じて要求成分、原料空気、配管材質、衛生、ロット追跡、校正、逸脱処置を確認します。EIGAの文書は食品用途のオンサイト発生器と食品ガス供給を扱いますが、対象地域の法令や顧客仕様に適合することの確認も必要です。

窒素ガスの酸欠対策にも同じ酸素計を使えますか？

原則として測定場所と目的が違います。製品ガスの残留酸素計は配管内部を測り、酸欠対策の検知器は作業場の空気を測ります。設置位置、警報、避難・換気の設計を別に行います。

導入費用は何で決まりますか？

測定点の数、分析計の範囲・精度、サンプル前処理、切替弁、PLC改造、配線・配管、試運転、校正・保守、記録システムで変わります。見積比較では機器代と工事代だけでなく、必要な停止時間、運用費、品質記録の範囲をそろえます。

導入仕様書に残す判定表と例外処理

仕様書では、単に「酸素濃度を監視する」と書くのでなく、入力、判定、操作、証跡を一行ずつ対応させます。たとえば通常運転なら、分析計が有効でサンプル流量が適正、酸素値が承認済みの上限内、装置と弁の状態が一致していることを条件とします。その条件を満たしたときだけ工程供給を許可し、どれかが外れたら工程側を閉じ、非適合ガスを指定した安全な行先へ切り替える、という動作を明文化します。これにより、計装会社が考える「正常」と品質部門が考える「合格」のずれを設計段階で発見できます。

起動時は、発生器が運転信号を出した時点と、ガスが規格内に安定した時点を分けて扱います。停止後の配管やレシーバーに残ったガスが何か分からないなら、再起動前に確認またはパージ手順を設けます。停電復帰後は、PLCの保持値や直前の弁指令をそのまま「現在の品質」と見なさず、分析計の準備完了、サンプル流量、弁位置を確認し直します。保守で手動バイパスを使う場合は、開始条件、許可者、時間制限、終了後の確認を記録します。バイパス中のガスを通常の品質データとして扱わないフラグも必要です。

異常シナリオは少なくとも、酸素上限超過、分析計の内部故障、通信断、サンプル流量不足、校正モード、供給空気圧低下、弁の位置不一致、停電を含めて検討します。それぞれで警報を出すだけなのか、工程供給を止めるのか、設備停止まで要求するのかを決めます。分析計の値が低く見えても、サンプル流量が止まっていれば現在の本流ガスを代表していないかもしれません。また、弁を閉じる指令が出ていても位置フィードバックが一致しなければ切替完了とは判定できません。このように「値の良し悪し」と「値が信用できるか」と「操作が実行されたか」は別の判定です。

受入試験の記録には、試験に使った入力状態、期待する弁・警報・上位通知、実際の動作、時刻、判定者を残します。合格条件は試験前に承認し、試験後に都合よく変更しません。通常、異常、復帰の各経路を通して確認すれば、実際の現場で品質部門がロットを保留する範囲と、設備担当が復旧する手順が同じ時系列で読めます。データ点数が多くてもこの対応が無いと、トラブル時に記録を解釈できません。

逸脱が起きた日の品質判断を設計時に練習する

実際の異常を想定し、「何時にどの値が変わり、どの弁がいつ動き、どのロットが流れていたか」を紙上で追う演習が有効です。たとえば圧縮空気側の露点が悪化し、後から残留酸素が上昇した場合、発生器出口と使用点の時系列を重ねると原因側と影響側の遅れを見られます。ただし相関だけで原因と断定せず、ドレン、フィルタ、圧力、センサー校正も確認します。保全担当は設備の復旧、品質担当は製品の保留・再検査、生産担当は再開時刻を判断できるよう、同じイベント番号で記録を結びます。

復帰も警報解除だけで終えません。分析計が有効に戻ったこと、ガスが規格内で安定したこと、弁の実位置が正しいこと、影響を受けた配管容量が置換されたことを確認します。工程に再供給した最初の製品について、品質上の追加確認が必要かを事前に決めます。作業場の酸欠警報が関係する場合は、生産品質の復帰手順とは別に、人の退避・換気・再立入の手順を優先します。これらの演習結果を仕様書と教育資料に反映すれば、監視システムの画面が現場の判断につながります。

まとめ

窒素発生装置の酸素濃度監視システム導入は、測定器の購入より先に「どの工程に、どの品質のガスを、どの状態で送るか」を決める仕事です。製品ガスの残留酸素と作業場の酸欠を別系統で管理し、採取点、応答時間、規格外の切替、分析計故障時の動作、ロット記録まで一つの仕様として確認します。用途固有の要求と実機の運転条件を踏まえたFAT・SATを行えば、警報が品質判断と現場操作につながります。

既設の窒素発生装置に酸素分析計やPLC連携を追加したい、または新設時に測定点と切替ロジックを整理したい段階なら、TOMAS TECHへご相談ください。対象工程、必要なガス品質、既設配管図が分かる範囲から一緒に整理できます。

参考資料・一次ソース

1. Parker, Nitrogen Generator Installation, Operation & Maintenance Manual, N2-120/160/240 — 装置構成、酸素監視、設置・運転。
2. Parker, Balston HFX Nitrogen Generators IOM — 酸素分析計搭載モデル、吸気温度条件、点検・校正。
3. Parker, NITROSource Food Grade Gas White Paper — 食品用途、空気前処理、HACCP。
4. EIGA, Doc 194/24: Design and Operation of On-site Nitrogen Generators for Food Use — 食品用途のオンサイト窒素発生器。
5. EIGA, Doc 125/20: Guide to the Supply of Gases for Use in Foods — 食品ガス供給とオンサイト設備。
6. OSHA, 1995 interpretation on inert gases and oxygen displacement — 窒素の単純窒息性と米国での酸欠危険の説明。